真空干燥系统是一种经过验证的有效方法，用于干燥由于几何形状复杂或在表面吸水而使水分离的部件；真空干燥通常用作二次干燥方法以除去痕量的残留水，并且通过将部件放置在加热的真空室中以使水闪蒸来完成，该系统通常用于在线批量配置。
  
  真空干燥设备是通过产生真空气氛来完成的，该真空气氛降低了被干燥基质上分子的蒸气压。水迅速达到其沸点并从表面“闪蒸”。通过抽真空并由此降低腔室中的压力，腔室中的水的沸点降低并且水从表面闪蒸出来。
  
  真空干燥器能够在30秒内将腔室拉至所需的真空。将部件放入干燥室中至所需的设定点。在预设的停留时间到期后，排气阀打开，通过0.2微米的过滤器释放腔室中的真空，此时，可以移除部件。